真空閥門是指在真空系統(tǒng)中，用來改變氣流方向，調節(jié)氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件。真空閥門關閉件是用像膠密封圈或金屬密封圈來密封的。

 

真空閥門的分類：

 

1、根據工作壓力有低真空閥門、高真空閥門和超高真空閥門。

2、根據結構特點有蝶閥、球閥、隔膜閥、擋板閥、插板閥、角閥、直通閥、三通閥。

3、根據傳動原理有手動、氣動、電動、電磁。一般氣動是電磁先導、氣缸執(zhí)行動作的過程，也可用手控制先導閥氣缸執(zhí)行動作的過程。電動為手、電兩用，當停電時可用手動進行操作。

4、根據材料有不銹鋼、碳鋼、鋁合金為主體材料的閥門。

5、根據動密封的材料也可分金屬密封和非金屬密封閥門。軸封用O形橡膠圈一般真空動密封的漏率為10-4Pa.L/S，在軸運動過程中真空度不高，可用于要求不高的高真空條件下使用；軸封為金屬波紋管密封，其漏率為10-7Pa.L/S,適用于超高真空條件下使用。